簡述高純笑氣的特點及作用
發布時間：2021-07-26來源：洛陽華普高純氣體點擊：3858
簡述高純笑氣的特點及作用
高純笑氣在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。笑氣在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。
顯像管制造中要求笑氣純度為99.99%以上。在航天技術中，液氫加注系統需要先用高純笑氣置換，再用高純氦置換。笑氣是難液化的氣體，在很低溫下會液化成無色液體，進一步降低溫度時，更會形成白色晶狀固體。在生產中，通常采用黑色鋼瓶盛放。
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